Torrey Pines 程控晶圓加熱板是一種可編程的數字電熱板，專(zhuan) 為(wei) 烘烤晶圓矽片而設計。 在手動操作模式中，隻需設置一個(ge) 目標溫度，設備就會(hui) 達到並保持該精確溫度在±1°C之內(nei) 。 在編程模式下，程序可以存儲(chu) 在內(nei) 存中，以便即時調用和使用。 存儲(chu) 的程序將一次又一次*相同地自動運行。

根據需要，程序可以是簡單的也可以是複雜的。 可以存儲(chu) 多個(ge) 溫度，溫度上升速率（如果需要）和停留時間。 這些程序可以編寫(xie) 並存儲(chu) 在本機隨附的分離式控製器中，或者當用戶在後部的RS-232 I / O端口連接PC上來編寫(xie) 程序並通過PC運行該程序時，程序可以根據需要盡可能的簡單或複雜。

特征

1.直徑為(wei) 354.24毫米（13.875英寸）的加熱表麵

2.研磨的平板鋁非常適合12英寸（304.8毫米）或更小的矽晶片

3.可通過RS232 I / O端口或通過控製器從(cong) PC或工業(ye) 控製器進行遠程控製

4.可使用隨附的分離式控製器對加熱板進行控製和編程

5.溫度範圍從(cong) 室溫到350°C

6.可讀且可設置為(wei) 1°C

7.精度為(wei) 設定值的1％

8.從(cong) 加熱板表麵中間到側(ce) 麵0.75 in範圍內(nei) 的溫度均勻度優(you) 於(yu) 1％

9.溫度穩定性±1°C

10.校準至0.1°C以確保準確性

11.控製器可存儲(chu) 5個(ge) 單獨的程序，每個(ge) 程序多可存儲(chu) 10個(ge) 步驟，以進行各種手動操作，可重複的樣品運行

12.程序可自動重複1到99次，如果需要，可以無限次重複

13.變溫可以1°C /小時的基數增量從(cong) 1°C到450°C上升或下降

14.1500 W加熱器功率

15.機箱底部的*溫度指示照明環。顏色從(cong) 藍色（無目標溫度）變為(wei) 黃色（加熱至50°C以下）至紅色（加熱至50°C以上）。指示燈將閃爍，直到溫度穩定在±0.2°C之內(nei)

16.內(nei) 置倒數計時器，帶有聲音警報和可設置的自動關(guan) 閉